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簡(jiǎn)要描述：國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是低電壓高分辨的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，使用了高壓隧道技術(shù)（Super-Tunnel）、無交叉電子光路、靜電電磁復(fù)合物鏡設(shè)計(jì)，減少了空間電荷效應(yīng)，降低系統(tǒng)像差，實(shí)現(xiàn)了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升，可對(duì)不導(dǎo)電樣品或半導(dǎo)體樣品進(jìn)行直接觀察，有效降低了樣品輻照損傷。
產(chǎn)品型號(hào)：廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2025-06-06訪 問 量：235詳細(xì)介紹
| 品牌 | 國(guó)儀量子 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 儀器種類 | 場(chǎng)發(fā)射 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 | 加速電壓 | 20 V~30kV(可升級(jí)35kV) |
| 放大倍率 | 1~ 2,500,000x | 電子槍類型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是低電壓高分辨的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，使用了高壓隧道技術(shù)（Super-Tunnel）、無交叉電子光路、靜電電磁復(fù)合物鏡設(shè)計(jì)，減少了空間電荷效應(yīng)，降低系統(tǒng)像差，實(shí)現(xiàn)了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升，可對(duì)不導(dǎo)電樣品或半導(dǎo)體樣品進(jìn)行直接觀察，有效降低了樣品輻照損傷。
國(guó)儀量子SEM5000Pro場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
1、分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
2、電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
3、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
4、電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
5、水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
6、磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
| 關(guān)鍵參數(shù) | 分辨率 | 0.8 nm @ 15 kV，SE 1.2 nm @ 1.0 kV，SE 0.7 nm @ 35 kV STEM |
| 加速電壓 | 20 V ～ 30 kV （可升級(jí)35kV） | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 | |
| 樣品室 | 攝像頭 | 雙攝像頭 （光學(xué)導(dǎo)航+樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控） |
樣品臺(tái)行程 | X: 110 mm，Y: 110 mm，Z: 65 mm | |
| 探測(cè)器和擴(kuò)展 | 標(biāo)配 | 鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器：Inlens 倉(cāng)室內(nèi)電子探測(cè)器：ETD |
| 選配 | 插入式背散射電子探測(cè)器（BSED）（五分割，可選配） 低真空二次電子探測(cè)器（LVD） 背散射衍射（EBSD） 樣品交換倉(cāng)（4 寸 /8 寸） 軌跡球&旋鈕板 | |
| 軟件 | 語(yǔ)言 | 中文SEM軟件 |
| 操作系統(tǒng) | Windows | |
| 導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航、軌跡球（選配） | |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |
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